주식회사 히메지 리카는 SEMICON 일본 2022에서 진공 평면 가열 장치를 출전.
iwebhusayithi：https://www.himejirika.co.jp/
이번에는 이 진공 가열 장치를 소개하려고 합니다.
여기에서 15개의 할로겐 히터를 하나씩 독립적으로 제어할 수 있으며 이 히터는 진공을 끌어 균일하게 가열할 수 있습니다.
여기에서 15개의 할로겐 히터를 하나씩 독립적으로 제어할 수 있으며 이 히터는 진공을 끌어 균일하게 가열할 수 있습니다.
여기에 특허를 출원했다고 하는데 리드선이 챔버 외부에 있는 것도 특징 중 하나다.
그래서 이것을 사용할 때 고르게 가열할 수 있는 것이 특징입니다.
