[SEMICON 일본 2022] KUMADE-FORK (EC타입) - (주)허모텍

(주)하모텍
당사는 우에하라 특수운송을 전문으로 하는 메이커입니다.
이번에는 EC타입에 대해 설명드리겠습니다.

사실 이것은 EC 유형의 전시가 될 것입니다.

EC Type은 300mm의 가장 높은 웨이퍼 이송을 위해 당사에서 새롭게 개발한 것입니다. 언제

300mm의 대구경 Wafer 자체에 의한 처짐이 커서 비접촉 이송이 어렵습니다.

무게

. , 내쉬는 공기와 선회류에 의해 내쉬는 면적이 뿌리쪽으로 오도록 하고,

반대로 뿌리에서 내쉬는 공기는 팁 측으로 오도록 하고 이 중앙 부분에서 공기 반발력을 만듭니다. 그것은 싸울 힘을 생성했습니다.

이렇게 하면 자중으로 구부러진 TAIKO 웨이퍼를 밀어 올릴 수 있습니다.

또한 TAIKO의 앞면, 뒷면, 오늘의 뒷면, 반전도 준비되어 있습니다.

얇은 TAIKO 웨이퍼 외에도 페어 웨이퍼, 본디드 웨이퍼, 두꺼운 웨이퍼도 취급할 수 있습니다.